High-NA
-
ASML hoopt nog geavanceerdere “Hyper-NA” machines te leveren vanaf 2030
Tegen industrie verwachtingen in kondigde Martin van den Brink de volgende generatie van EUV-lithografie chips aan. De, tot voor kort, CTO van ASML liet weten dat de zogenaamde Hyper-NA machines in een vroeg stadium van ontwikkeling zijn. De modernste machines van ASML maken gebruik van een ‘numerical aperture’ of NA van 0,55. De eerste generatie van EUV had een NA van 0,33, en Hyper-NA moet staan voor een NA van 0,75. In 2021 gaf het bedrijf... [meer]